產(chǎn)品特性：
 ? 通過利用常規(guī)過程數(shù)據(jù)和專有技術重新設計了易用性
 ? 通過在負載鎖定室中安裝暗盒機構(gòu)（可選）來提高生產(chǎn)率
 ? zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
 ? 支持堆疊/同時濺射多個陰極
 ? 通過觸摸屏和配方輸入自動處理，節(jié)省了人工
 ? 可以記錄數(shù)據(jù)

產(chǎn)品應用：
? 電極成膜/多層電極及同時成膜應用
? 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護膜等
? 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā)